【摘 要】
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可编程相位光栅作为一种基于MOEMS技术的新型空间光调制器,能够实时改变自身的光学结构参数,对入射光进行相位调制,具有很大的灵活性和广泛的应用性. 论文首先基于现有的MOEM
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可编程相位光栅作为一种基于MOEMS技术的新型空间光调制器,能够实时改变自身的光学结构参数,对入射光进行相位调制,具有很大的灵活性和广泛的应用性. 论文首先基于现有的MOEMS技术构造了可编程相位光栅的光学模型,对其进行了理论分析,得到了可编程相位光栅的衍射光强分布公式,并利用数学方法对其进行了仿真. 论文的另一部分工作是从可编程相位光栅的光学模型出发,研究了可编程相位光栅的测控原理.可编程相位光栅采用静电驱动,为了更精确的控制光栅光带的位移,可编程相位光栅采用闭环控制,将光带与测量电极之间的电容容值作为反馈信息,由于光带与测量电极之间的电容非常小,因此采用抗寄生电容充放电法测量微电容.利用EDA仿真软件对微电容测量电路进行了仿真分析.最后根据光学模型和测控原理建立了相应的硬件实验装置,并进行了原理性验证实验.
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