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MEMS(Micro Electro Mechanical System,微机电系统)器件依据可动结构来实现相应的功能,其主要发展趋势是器件越来越小,频率越来越高。为了保证器件的性能,振动特性测量必不可少,不仅要求测量其谐振状态的振幅和相位等基本信息,而且需要获得其它振动模态下的信息。因此微振动测量仪器应该具备高带宽、高测量灵敏度和大的振幅测量范围等特点。激光外差干涉技术具有灵敏度高,受环境影响小等优点,但是传统外差技术存在一定的局限性,其测量带宽和振幅测量范围不能够满足各类MEMS器件的测量需求。