随着我国经济进入高质量发展的新阶段,资源紧缺、环境约束等问题日益严峻,以污染环境换取发展的粗放型发展模式将逐步退出。在新形势下,中国经济发展必须更换新引擎、寻求新动力。绿色创新已成为世界各国追求创新发展的新路径,将粗放发展模式向可持续发展模式扭转。绿色创新效率在节约资源、降低能耗,避免或减轻生态环境污染和破坏的基础上实现可持续增长,和近年兴起的绿色、创新发展理念相契合。高新技术产业发展在中国经济转型进程中有着至关重要的作用,而集聚又是其发展的重要模式。因此,在此背景下研究高新技术产业集聚对绿色创新效率的影响具有重要的现实意义。本研究基于新古典微观区位论、集聚外部性理论、新经济地理学、区域创新系统理论等分析集聚对创新效率的影响,为后文研究奠定一定的理论基础。选取2004-2020年中国大陆省级层面的高新技术产业为研究样本。采用Super SBM-DEA模型测算绿色创新效率,采用区位熵测算空间集聚程度。通过固定效应模型、中介效应模型以及门槛面板模型系统研究规模集聚在空间集聚与绿色创新效率关系中的作用机制。并基于上述分析为提升绿色创新效率提出发展建议。研究结果表明:（1）中国高新技术产业绿色创新效率存在显著的空间分异性。东部地区绿色创新效率普遍超过中部地区,中部地区普遍超过东北地区和西部地区,呈现出东-中-西-东北依次递减的空间分异性。（2）高新技术产业空间集聚有利于提升绿色创新效率,而规模集聚起阻碍作用,且空间集聚对绿色创新效率的促进作用中有6.06%的部分是通过限制规模来实现的。（3）我国高新技术产业空间集聚对绿色创新效率存在双重规模集聚门槛效应。当规模集聚小于第一个门槛时,空间集聚对绿色创新效率存在明显的正效应;当规模集聚跨过第一个门槛小于第二个门槛时,空间集聚系数较第一个门槛前的系数大,此区间段内空间集聚对绿色创新效率促进作用更强;当规模集聚大于第二个门槛时,空间集聚系数较前两个门槛区间系数小,空间集聚对绿色创新效率的促进效应最弱。高新技术产业空间集聚的促进作用存在中、西、东依次递减的特征,全国30个省域的规模集聚逐年向高门槛区间攀升,到2020年全国高新技术产业规模集聚基本已进入第二个门槛。因此,各省级政府应制定产业政策合理布局高新技术产业,培育地方特色产业集群;合理调控规模经济的空间外溢,形成规模集聚优势;优化高新技术产业创新环境,提升绿色创新效率。