本文以TEOS、PDMS、H2O、EtOH为主要原料,采用溶胶-凝胶法制备PDMS/SiO2有机-无机杂化物薄膜。确定了各项工艺方法和工艺参数,最终制备出了平整、均匀,综合性能优异的透明硬质杂化薄膜。溶胶配置工艺方法方面,探索出了各成分的添加方式和顺序,以及后期应用水浴加热方法的必要性及使用方式。实验最终确定了配置PDMS/SiO2溶胶的各成分的最佳比例为Vol：TEOS/PDMS/H2O/EtOH=1:0.1～0.2:0.5:1, PH=3。自制了提拉和旋涂镀膜装置,实验了两种镀膜方法的效果。PDMS与TEOS的体积比超过20%时,常规工艺方法难以制备性能良好的薄膜。对工艺进行改进,溶胶制备过程中采用加入过量乙醇,后期采用水浴蒸发调节粘度的方法可以制备体积比达到30%的成膜性能良好的溶胶液。第一层薄膜的烧结温度低于400℃时,第二层薄膜无法涂覆；第一层薄膜的烧结温度高于400℃时,可以很好的在第一层薄膜上涂覆第二层薄膜。薄膜在低于400℃温度下烧结时,将会成为疏水性薄膜,接触角在90°～100°之间；烧结温度高于400℃时,薄膜不具有疏水性。薄膜烧结温度高于400℃时,单层涂覆即可具有优异的腐蚀防护作用；烧结温度低于400℃时,腐蚀防护性能会有明显降低。单层薄膜的腐蚀防护性能受基体表面性质的影响较为明显。