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随着表面形貌测量、超精密加工及生物医学工程等众多领域的不断发展,与之相关的设备对定位行程、定位精度的要求越来越高,因此大行程高精度的定位技术在现代科学技术中起到十分关键的作用,近年来一直是精密工程领域的研究热点之一。论文以宏微双重驱动方式大行程高精度定位系统中的宏动台为研究对象,研究了以交流伺服电机加滚珠丝杠传动,光栅测量为反馈系统的宏动台的运动特性与定位误差,研究内容包括:1通过物理样机实验,指定工作台运动行程为2mm,选择有代表性的低速0.006mm/s、中速0.27mm