多孔硅在改善多晶硅太阳电池性能上的研究和应用

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该文研究了多孔硅在多晶硅的减反射、钝化、吸杂这三方面的特性,进一步制备了多孔硅太阳电池,并对其相关的特性做了系统的研究.首先,该文采用传统的化学法制备多孔硅,利用稳态光电导衰减法(QSSPCD)、红外吸收光谱(IR)、扫描电镜、反射谱等手段对多孔硅的性质进行了深入地研究.在减反射方面,与沉积减反射膜和传统的表面织构化相比,多孔硅制备简单并且解决了传统的织构化手段无法解决的由多晶硅的多种晶向而造成的各向异性腐蚀的问题.而且,在多晶硅上制备多孔硅能大幅度地降低多晶硅的反射率,能使平均反射率降低到7%以下.在吸杂方面,单独的多孔硅对多晶硅吸杂的效果紧次于多孔硅和磷的结合吸杂,但是从工艺的角度看,多孔硅吸杂工艺简单、易操作、成本低.其次,该文用自对准技术制备了多孔硅太阳电池,通过测量太阳电池的I-Ⅴ曲线和光谱响应等发现多孔硅的确在一定程度上改善了太阳电池的性能,使太阳电池效率由原来的8.01%提高到14.73%,增益达到32.5%.第三,在制备多孔硅太阳电池的过程当中,存在一个比较显著的问题——不稳定性.针对这一问题进行了一系列的存放实验,发现多孔硅的不稳定性不但影响硅材料而且进一步影响了多孔硅太阳电池.
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