脉冲激光沉积法制备类金刚石薄膜的研究

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本文对于脉冲激光沉积法制备类金刚石薄膜的近况进行了介绍。并简要介绍了本实验研究中检测样品时所用仪器的原理和相关性能参数。这些检测仪器包括:Raman光谱仪,原子力显微镜(AFM),XPS光谱仪。分别在Si基底,Al_2O_3以及316L医用不锈钢基底上沉积了薄膜,并进行了样品表征。本文以Raman光谱测试为主,依靠相关理论对所制备的样品进行了横向和纵向的评价与研究。在Si作为基底实验中,研究了脉冲激光能量和温度对于类金刚石薄膜结构的影响。研究指出能量越高,薄膜中sp 3键的含
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