随着科技的发展,实现精细操作的微动机构正受到人们的日益关注,并将具有广阔的应用前景和巨大的发展潜力,为此设计满足特定要求的新型微动柔性机构就显得尤为重要。本文在3-RRRRR并联机构的基础上设计分析了一种新型的由压电陶瓷驱动的微动机构。具体内容如下:选取具有3个自由度的3-RRRRR并联机构作为基础机构。根据用柔性运动副代替刚性机构的运动副来实现微小运动这一思想,首先设计了构成3-RRRRR并联微动机构的基本元素——柔性转动副,然后结合3-RRRRR并联机构的不同位姿,设计了柔性机构的四种构型,最后通过仿真定性选出了符合自由度和精度要求的构型。作为研究3-RRRRR并联微动机构的基础,分析了该微动机构的位置反解。充分考虑微动机构的特点,利用D-H法,经过抽象简化,得出了3-RRRRR并联微动机构的位置反解,为其精度分析奠定基础。微动机构的微小运动是通过驱动力使材料变形及其变形强耦合实现的。考虑到材料强度、刚度和变形强耦合的因素,并考虑到微动机构的运动特性,采用了材料力学中内力分析的方法,对3-RRRRR并联微动机构进行静力学分析,由此得出其承载能力,结合软件测试的方法,进一步得出其工作空间和输入力和输出位移之间的关系式,为控制该微动机构做了铺垫。基于位置反解分析,并考虑到各种误差源,对3-RRRRR并联微动机构的广义几何误差进行了分析,对微动机构的设计和制造有一定的指导意义。考虑到静力学和误差方面的因素,并同时考虑到压电陶瓷驱动器的工作原理,根据输入力和输出位移的关系,对3-RRRRR并联微动机构的控制系统进行了初步设计。