本文基于薄膜法布里-珀罗滤波器的原理，对密集波分复用(DWDM)系统中的窄带滤光片的基片加工、光谱特性、膜系的优化设计、误差分析、膜厚监控方式、镀制工艺和粘接工艺等方面进行了深入的理论分析和试验研究。主要内容如下： ⑴以光学薄膜基本理论为基础，介绍了法布里-珀罗干涉仪的原理，引出薄膜法布里-珀罗滤光片的类型，着重分析了多腔薄膜法布里-珀罗滤光片的设计原理，及光束斜入射对薄膜窄带滤光片的中心波长的影响。对不同类型滤波器的原理进行了分类介绍。 ⑵详细阐述了多腔级联型F-P梳状滤波器的设计方法和制备过程。对基片的规格要求进行讨论确定，检测其厚度和面形精度引进加工误差分析。根据全介质法布里-珀罗滤光片的设计原理，运用Mass3．0软件模拟得到理想的透射光谱曲线。针对光学极值法监控制备膜层带来的误差，进行了膜系误差分析，直观模拟了单腔膜系灵敏度和允差透射曲线，得到相关敏感层和最优允差范围。对于基片的连接方式，采用粘接剂胶合和直接键合两种方法进行试验，对比试验结果得出不同连接方式的适用范围和特点。 ⑶检测制备好的通道间隔为200GHz多腔薄膜F-P型梳状滤波器，获得了多信道透射光谱，分析得到器件峰值透过率，通带宽度等各项参数，得到了在1520～1590nm波段有8个反射通道和8个透射通道，相邻通道间隔是6nm，通带隔离度为14dB，插入损耗<0．5dB的实验结果，基本满足设计要求。最后分析了材料色散、间隔层厚度、间隔层温度稳定性、结构对称性对滤波器性能的影响。