【摘 要】
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该文用等离子体基离子注入、等离子体基离子注入混合及磁控溅射离子镀技术在45钢基体上进行不同改性层结构离子注入表面改性处理,用XPS、XRD对改性层的元素进行浓度深度分布
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该文用等离子体基离子注入、等离子体基离子注入混合及磁控溅射离子镀技术在45钢基体上进行不同改性层结构离子注入表面改性处理,用XPS、XRD对改性层的元素进行浓度深度分布及组织结构分析,用销-盘摩擦磨损试验机进行摩擦磨损试验,用SEM、EDAX观察磨痕形貌,分析磨痕、磨屑、膜及对磨材料的成分,并测试不同载荷下的显微硬度.在等离子体基离子注入Ti和等离子体基离子注入混合(Ti,C)混合层的表面沉积DLC能有效地提高硬度和摩擦磨损性能.随着离子注入Ti靶电流的增加和离子注入混合(Ti,C)混合层厚度的增加,硬度增大,摩擦寿命增加.Ti/DLC多层膜随 厚度的增加,硬度增大,当层数增加到两层以上时,虽然硬度随厚度的增加继续增大,但摩擦磨损性能降低,摩擦寿命减小.改性层与陶瓷摩擦副Si<,3>N<,4>之间的磨损是粘着加磨粒磨损,在摩擦过程中,有不同程度的Si<,3>N<,4>在对磨体上的转移,Si<,3>N<,4>的磨损机制是微断裂.
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