【摘 要】
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该文系统地研究了热灯丝化学气相沉积法在石英衬底上(以硅和蓝宝石衬底为对比)沉积金刚石膜的成核、结晶和生长特性.并对石英衬底上沉积金刚石膜的应力问题作了深入研究,利用
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该文系统地研究了热灯丝化学气相沉积法在石英衬底上(以硅和蓝宝石衬底为对比)沉积金刚石膜的成核、结晶和生长特性.并对石英衬底上沉积金刚石膜的应力问题作了深入研究,利用弯曲法测量了石英衬底上不同工艺条件下沉积膜的应力,并利用SEM和拉曼光谱作了分析.通过研究,解决了石英衬底上沉积金刚石膜的附着力和应力的问题,获得了5μm厚的完整的金刚石膜样品.利用石英衬底上沉积的金刚石膜样品研究了气氛和辐照对金刚石膜表面电阻的影响.得出了金刚石膜表面电阻受C<,2>H<,5>OH、CH<,3>COCH<,3>、NO<,x>和NH<,3>这四种气氛影响和低能电子(5KeV-30KeV)辐照后的变化规律,研究了影响后的表面电阻的恢复特性.并对实验现象作了解释.
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