薄膜/基层体系力学性质同步测试技术研究

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在许多先进技术中,薄膜有着广泛的应用。要研究薄膜结构的稳定性、可靠性以及耐久性,需要更好的理解这些薄膜结构的力学性质。因此,有必要对薄膜的杨氏弹性模量、泊松比以及膜/基界面的粘附强度等进行精细的力学表征。现有测试理论通常需要事先假定薄膜的泊松比(或者杨氏弹性模量)为已知参量,然后确定其他参量。然而,我们知道,温度、湿度、蚀刻方法、加工条件以及制造程序等因素,都可能会引起薄膜力学性质的较大差异。因此,采用以往测试数据(例如泊松比)对本次实验而言是有误差的,并且这一误差将对本次实验中杨氏弹性模量、膜/基界面粘附强度的确定都产生影响。所以,本课题致力于,通过对一个实验样品的同一组测试数据的分析,同时获得该包衣薄膜有关杨氏弹性模量、泊松比以及膜/基界面粘附强度信息的研究,即所谓的同步测试技术研究。论文主要由以下七个章节组成:第一章主要介绍了问题的提出及研究意义,并阐述了国内外研究现状、主要研究目标、研究内容以及创新之处。第二章介绍了论文研究所需的圆薄板问题基本理论。第三章主要介绍了薄膜/基层体系力学性质的现有测试技术。第四章提出了一种新的薄膜/基层体系力学性质同步测试技术,该技术能够通过对同一次实验数据的分析,同时获得包衣薄膜的杨氏弹性模量、泊松比、膜/基界面的粘附强度。第五章分析了本文提出的同步测试技术的优越性,并将这种新的测试技术与现有研究工作作了比较。第六章介绍了本文作者所作的一个验证性实验,通过实验结果与理论推导结果的对比分析,验证了本文理论成果的正确性。第七章总结本文的主要研究成果,并展望今后的研究方向。本文提出了一种新的薄膜/基层力学性质同步测试技术,该技术能够通过对同一次测试数据的分析,同时获得包衣薄膜的表面性质(弹性模量和泊松比)和膜/基界面性质(粘附强度),这是论文的主要创新性工作。论文的研究工作,对提高薄膜/基层体系力学性质的测试精度,具有一定的应用价值。
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