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目前,锌黄锡矿结构的CZTSSe薄膜因其具有高的光吸收系数(>104cm-1),合适的带隙(0.95 eV-1.5eV),和环境友好等优点成为太阳能电池光吸收层材料的研究热点。Mo薄膜作为该吸收层的背电极材料,其特性对CZTSSe薄膜有着重要影响。本文主要研究背电极Mo层和吸收层CZTSSe薄膜的制备工艺和光电性能。第一,采用直流磁控溅射法制备多层Mo预制层,并高温退火得到Mo薄膜。与传统工艺相比,这种多层工艺制备的Mo薄膜电阻呈梯度式变化,有利于载流子的输运。通过调整制备工艺条件:当Mo靶材功率、