电场作用下少子复合率新模型及相关器件的研究

来源 :浙江大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tangtieming1983
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随着半导体研究水平和生产技术的迅速发展,为了提高集成度和电路的性能,晶体管的尺寸正在迅速减小。横向器件尺寸缩小,浅结构造和自对准工艺等双极性和MOS新工艺,都导致了在半导体器件pn结附近的电场急剧增加,因此对该类现象的深入研究和正确描述是非常必要和重要的。同时为了能够更好地进行器件模拟研究,对模拟模型的修正也是非常迫切和关键的。 目前的研究基本上基于电子空穴产生复合机制上,结合能带之间隧穿效应,陷阱辅助隧穿效应,SRH复合和雪崩击穿效应,对载流子产生载复合率模型进行修正。 本文新引入Poole-Frenkel效应,将电场和电子势阱之间的关系进行了联系。由此对少子产生复合率模型进行理论修正。修正后的新模型能够运用于器件模拟软件中。在不同的温度条件下,运用新模型进行了二极管器件的基本特性模拟,模拟结果能够很好地满足理论预见,基本达到研究的目的,同时对半导体器件模拟研究做出了推动。
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