【摘 要】
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本论文主要针对TiAlN系光吸收膜的制备及性能开展研究工作。利用磁控溅射法在铜片和硅片上沉积了具有热稳定的TiAlN选择性光吸收薄膜。通过控制TiAlN薄膜的柱状结构,镀层实现在70℃下对太阳光的高吸收率(0.92)同时还具有低的发射率(0.06)。利用紫外可见分光光度计、扫描电子显微镜、透射电子显微镜、显微拉曼光谱仪和X射线光电子能谱仪测试了薄膜的热稳定性。结果表明,TiAlN选择性吸收薄膜的性
【机 构】
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中国科学院大学(中国科学院宁波材料技术与工程研究所)
【出 处】
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中国科学院大学(中国科学院宁波材料技术与工程研究所)
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本论文主要针对TiAlN系光吸收膜的制备及性能开展研究工作。利用磁控溅射法在铜片和硅片上沉积了具有热稳定的TiAlN选择性光吸收薄膜。通过控制TiAlN薄膜的柱状结构,镀层实现在70℃下对太阳光的高吸收率(0.92)同时还具有低的发射率(0.06)。利用紫外可见分光光度计、扫描电子显微镜、透射电子显微镜、显微拉曼光谱仪和X射线光电子能谱仪测试了薄膜的热稳定性。结果表明,TiAlN选择性吸收薄膜的性能和结构在550℃下保持了高的稳定性。采用直流脉冲磁控溅射工艺对钛靶和铝靶共同溅射,制备出了近似黑体的纳
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