MEMS(Micro-electro-mechanical system)谐振器以其体积小、精度高、稳定性好等特点被广泛应用于工业生产、航空航天等重要领域,并受到各国科研机构的广泛关注。然而,由于谐振式压力传感器的输出信号较为微弱,且易受外部环境以及自身固有特性的影响,故而难以直接对谐振器的输出信号进行测试。因此选择合适的检测方式,不仅可以提高谐振式压力传感器的精度,而且对于提高测试系统的稳定性和可靠性具有重要意义。本文采用AGC自动增益控制系统和锁相环控制系统分别完成对谐振式压力传感器谐振频率的测试。然而,两种测试系统均拥有各自的缺陷和局限性,为克服系统缺陷,提高系统性能,本文设计了一种基于线性反馈的谐振式压力传感器闭环检测系统,用以完成对谐振式压力传感器的测试分析,并提高了测试系统的测试精度和谐振式压力传感器的品质因数。本文主要的研究工作和成果如下:(1)分析了采用三层硅-硅键合结构的谐振式压力传感器的工作原理和闭环检测原理,着重讨论了几种不同的谐振器激励与检测方式,分析比较了几种驱动检测方式的优劣。(2)分析了谐振式压力传感器的自激控制原理,分别建立了基于AGC自动增益控制系统和锁相环控制系统的闭环仿真模型并搭建测试电路。实现了谐振式压力传感器的自激振荡,并完成对谐振式压力传感器谐振频率的测试。此外,对锁相环系统的环路稳定性进行分析,得出了提高环路性能的方法。(3)建立谐振式压力传感器的非线性模型以及基于线性反馈系统的闭环仿真模型。搭建测试电路检测谐振器的幅频特性。分析仿真和测试结果,发现使用基于线性反馈的闭环测试系统将谐振器的谐振峰值提高了6.5dB,同时对系统的精确度和谐振器的品质因数都有了较大的提高。并分析了当输入信号发生变化时,对系统稳态相差的影响。