硅基二氧化硅光波导环形谐振器的技术研究

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本文首先对环形谐振器的谐振特性做了理论研究,阐述了理想光源激励下谐振器的主要参数对谐振性能及精细度的影响。接着基于理论分析的基础上,提出了一种应用于集成光学陀螺的谐振器的优化设计方案。光波导材料为传输损耗为0.01dB/cm的硅基二氧化硅材料,有效的降低了谐振腔内部的损耗,使得谐振腔内损耗仅为0.5dB,利于谐振腔的高精度;光波导结构采用准单模矩形结构,利用腔中的弯曲波导对一阶模的有效滤除实现了光的基模传输,利于谐振腔的小型化;结合BPM软件,完成了对单模波导、弯曲波导部分、定向耦合器和无源环形谐振器整体结构的模拟和设计。最后对PRR样品进行通光测试,实验验证了此优化设计方法是有效可行的。
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