【摘 要】
：
在对半导体材料的结构缺陷进行观察时,透射电子显微镜有着其他观察仪器不可比拟的优越性,透射电子显微镜主要使用的像的技术有:质厚衬度像、衍射衬度像、位相衬度像,它们的适
论文部分内容阅读
在对半导体材料的结构缺陷进行观察时,透射电子显微镜有着其他观察仪器不可比拟的优越性,透射电子显微镜主要使用的像的技术有:质厚衬度像、衍射衬度像、位相衬度像,它们的适用范围各不相同.其中,高分辨电子显微像可以在实空间内直接观测晶体局部的结构,因此而被广泛的使用.该文利用透射电镜作为工具,对硅中不同类型的缺陷结构以及工艺过程中的缺陷的转化进行了观测,并对我们观察到的现象进行了解释和说明.作为补充,该文还对透射电镜图像中常见的等厚等倾条纹做出了解释,并指出了它们对于解释缺陷的结构有辅助作用.通过对硅中的位错及层错、Si-SiO2界面结构,以及硅中的沉积的结构形态的分析,我们发现,缺陷的运动总是朝释放应力和降低自身能量的方向进行的,工艺过程中缺陷形态的变化也符合这样的规则,位错的各种复合体在能量上要处于稳定状态,他们的相互作用和结合有助于降低自身的能量.通过引入一定程度的缺陷,即硅片的吸杂技术,来与晶体内部的缺陷相互作用,使晶体内部缺陷移动到器件的非活性区,达到减少器件活性区的缺陷的目的.
其他文献
论文在借鉴国内外相关研究工作的基础上,初步构建大型水库工程生态影响后评价体系,探讨大型水库工程生态影响后评价的理论与方法,并结合四个不同特点的水库工程开展案例研究,
焊接是现在制造业生产中一种十分重要的工艺方法,在各个行业中的应用越来越广泛,保证产品的焊接质量显得尤为重要。焊接过程中的电信号包含丰富的信息且易于检测,电弧的稳定
聚合物驱采油的主要问题之一是如何处理大量含有一定浓度聚合物产出水,如果把这些产出水直接排放,将会给环境带来很大的危害.为此提出了用聚合物驱产出水配制聚合物回注地层
在全球气候变化与陆地生态系统响应的研究领域，陆地生态系统的碳循环和水循环是陆地表层系统物质循环和能量传输的核心，是地圈—生物圈—大气圈相互作用关系的纽带，这两个最基本
在传统与当代激烈碰撞的动荡中,谢天赐带着希望和梦想,让每个脚印都铿锵有力。用数十载的笔墨磨炼,以荷花题材为突破口,概念重组,运用泼墨和平面构成大写意阐述哲理和佛意,对
氧化锆陶瓷是高载荷条件下人工关节头的理想替代材料，制备纯度高、粒径小、粒径分布窄、具有良好烧结性能的氧化锆粉末，是获得性能优异的氧化锆生物陶瓷材料的一个重要步骤。Co
黄曲霉毒素对肝脏有强毒性rn黄曲霉毒素,想必大家没少接触这个名词,但你知道它到底有多毒吗?rn黄曲霉毒素的化学结构是一个双氢呋喃和一个氧杂萘邻酮.现已分离出B1、B2、G1、
材料设计的计算机模拟近二十年来发展较快，所形成的计算材料学已逐渐发展成为一门学科。材料设计分为宏观、细观(介观)和微观三个层次，其中，微观的原子级模拟已成为弥补实验不足
扁豆种植范围广,营养丰富rn扁豆原产于印度和印度尼西亚,我国南北方均有种植.扁豆花有红、白两种,豆荚有绿白、浅绿、粉红、紫红等颜色.扁豆外形扁平,表皮质感细密,有略微凸