ELID技术中,砂轮在电解反应下生成氧化膜,且金刚石磨粒附着在氧化膜中。磨削时,氧化膜具有一定的厚度,当其值大于砂轮磨粒的突出量时,磨粒不会直接磨削工件；此时磨粒的出刃高度远小于氧化膜的厚度,氧化膜与工件接触进行光磨；又因磨料微小化实现工件表面塑形去除从而达到超精密加工。磨削过程中,氧化膜处于生成与脱落的循环过程中,一定程度上达到动态平衡。在ELID技术中,高精度加工表面的获得,需要氧化膜厚度固定在一定范围内。针对氧化膜在加工过程中的作用,也突显出氧化膜厚度测量的重要性。本文分析磨削时金刚石磨粒与氧化膜生成之间的关系、氧化膜组成成分。对比现有单传感器、组合传感器测量方法,提出涡流传感器测量氧化膜内表面、激光传感器测量氧化膜外表面的测量方式。总结了不同磨削阶段组合测量氧化膜特征及计算表达式。利用虚拟仪器技术将传感器、采集卡整合在一起建立数据测量系统。在LabVIEW平台上编写程序,利用软件本身采集程序模块接收由数据采集卡采集的传感器数据并实现数据显示与保存。分析传感器特性及现场条件,设计了独立传感器安装支架降低由现场振动带来的干扰,实现了传感器X-Y-Z三方向的自由移动。传感器放置在独立支架上进行标定,确定传感器输入输出线性关系。对测量系统静态测试,对比实验验证静态标定下测量系统的准确性。对砂轮表面进行动态测量,实验表明激光、涡流组合式传感器的测量系统进行动态测量氧化膜是可行的。