现今是一个信息爆炸的社会,社会的发展越来越依托于各种各样的信息,如何快捷、便利、准确的获得各种类型的信息是人们必须要面对的一个难题。压力作为一种被广泛使用的信息,其在社会的方方面面发挥着至关重要的作用。压力传感器作为一种获取压力信息的有效手段正受到各方越来越多的关注。随着时代的发展,压力传感器越来越呈现出微型化、智能化和系统化的趋势,而数字压力传感器的出现正好暗合了这种趋势。相对于传统的压力传感器,数字压力传感器在智能化和系统化方面具有得天独厚的优势。传统的压力传感器输出的是模拟信号,容易受到外界的干扰,且不能很好的与当今被广泛使用的微处理器相匹配,数字压力传感器则没有相关限制。随着MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems,微机电系统)技术的发展,数字压力传感器可以进一步减小体积,降低成本并保证可靠性。另一方面,数字压力传感器可以通过其自身集成的数据处理芯片完成相关误差的自校准,并通过通信接口与其它传感器组成传感器网络。本文基于实验室自主开发的MEMS硅压阻压力传感器与ZMDI公司的数据处理芯片ZSSC3036设计一款数字压力传感器,该数字压力传感器可以实现对温度漂移、零点漂移、线性度和回滞等误差的自校准。本论文工作主要有以下几个方面：1. 本论文总结出了一套关于传感器测试的相关方法。对MEMS传感器进行性能测试,验证所用MEMS传感器具有良好的线性度、回滞特性和重复性等特性。2. 对传感器和处理电路进行联调。MEMS压力传感器输出的模拟差分信号经过放大、偏置、模数转换等步骤转换为数字信号,再经过DSP校准,通过通信接口输出校准后的数字信号。3. 对芯片封装进行研究。同时,对整个芯片系统采用多芯片封装,从而得到一颗集成化的数字压力传感器芯片。4. 最后,对数字压力传感器进行标定及校准,性能测试,得到相关的性能指标,并对性能指标进行分析。测试结果表明相关性能达到了设计指标,压力传感器的精度为4%60达到了设计指标。本论文的结尾部分,针对数字压力传感器提出了一系列的改进意见。本文所设计的数字压力传感器的输出是校准后的气压值,采用集成封装,不需要额外的信号处理电路,十分适用于海拔计、气压计和探空仪等相关应用。后期优化过程中,进一步减少封装体积之后,同样可以适用于一些小体积的应用场合。综上所述,本文所设计的数字压力传感器表现出了一定的理论价值与实用价值。