随着科技的快速发展,趋于超精密化的精密仪器在诸如光学、微电子、半导体等产业广泛应用。微振动已经成为影响其正常工作的关键因素,防微振技术也应运而生。结构防微振是一个十分复杂的问题。首先在于环境振动的随机性,其次结构在环境振源的激励下将产生复杂的响应。因此,要控制结构微振,必须研究结构防微振性能,提出合理的防微振方案。针对结构防微振设计理论,国内外很多学者进行了许多研究,但关于防微振研究多数集中在对设备的隔振上,对建筑结构防微振研究并不多。事实上目前的设备平台趋于大型化,并且与基础和地基相连,因此需要按结构来进行设计。另外许多项目还对主体结构的微振会有所要求,此时依赖局部隔振已无法解决,只有通过整体结构的防微振设计,才能达到微振工艺要求。在结构防微振设计中修改结构刚度,阻尼特性等是防微振方法中比较简单易行,造价较低的一种方法。为了研究微振动对微电子厂房结构响应的影响,本文采用有限元分析软件SAP2000对其结构微振动响应进行模拟分析,得出其工作平台上一些典型点的加速度时程曲线及相应的反应谱曲线,并与实测响应曲线加以对比,得到一些对实体结构微振动模拟方面有用的结论；另外,为探究可行的防微振设计方案,本文还模拟了厂房设置剪力墙前后的结构,对其各自的平台响应的进行比较分析,探讨结构刚度的影响,并得出一些结论,对整体结构防微振设计有一定参考价值。经比较分析结果表明,不论是实测数据还是模拟结果,水平方向基底输入加速度在工作平台上都得到一定程度的放大；实测反应谱曲线与相应的仿真模型反应谱曲线形状相似,峰值均出现在结构相应方向的自振周期附近；阻尼比是影响结构微振动响应的主要参数之一,结构在不同方向具有不同的阻尼比,且阻尼比与微振动响应(加速度,速度和位移)的反应谱峰值之间的关系可用二次曲线来拟合；设置剪力墙不能起到有效防微振的作用,从加速度和速度响应方面来讲,增大结构刚度会增大结构的微振动响应；但其对于位移控制能起一定作用。