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微陀螺在当今社会发挥的作用越来越重要,其自身发展速度突飞猛进,但现有的微陀螺都存在一定的问题。对于现有的悬浮转子式微机械陀螺,磁悬浮转子微陀螺的转子部分会在工作时逐渐发热,因为该种陀螺的转子是利用涡流效应旋转的,由发热问题所导致的转子侧向刚度降低也使得转速难以继续提高;而静电悬浮式陀螺虽然精度很高,但存在加工成本高,静电支撑所需电压过高等缺点。针对上述缺点及不足,本文主要从转子结构上进行突破,从而实现结构相对简单、转速高、精度高的新型陀螺仪。本文通过液浮陀螺的基本相关原理提出全新的具有界面尺寸效应的转子,利用Ansys Workbench、Fluent等软件通过对转子的建模,通过有限元分析得到转子与浮液间的摩擦的规律,得出本课题采用的浮液间隙。首先,用Workbench进行系统建模,初步设计尺寸,用Fluent对转子自身进行有限元分析,施加边界条件,对转子所受粘滞阻力进行分析,确定最佳浮液间隙。然后,用Workbench设计多种形状的图形单元加在转子表面,考察特定图形单元与表面滑移长度之间的关系。将得到的表面滑移长度设置在微机械陀螺模型中,考察界面尺寸效应对转子高速转动时产生的摩擦阻力的影响。最后结合上述结果优化设计出转子的尺寸和具有微纳双重结构的表面形貌,制作出高转速、高精度的液浮转子式微机械陀螺仪。