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寻找新型的高容量、高循环稳定性且便于制备的电极材料已成为薄膜锂离子电池发展中需要解决的重要课题。据此本文主要研究锑及锑锡薄膜的制备,并对其结构与性能进行分析测试,以期进行薄膜制备的参数与电化学性能相关性的理论研究。以此为其在薄膜锂离子电池中的应用提供相关的理论基础。本文使用磁控溅射以及电镀两种方法制备出了金属锑薄膜,并且把两者进行了比较;最后使用磁控溅射制备了锑锡合金薄膜,并改变参数制备出不同结构及性