近年来,随着电子工业、化学工业、薄膜及冷冻干燥行业的蓬勃发展,越来越多的行业要求有清洁的、没有油蒸汽存在的真空环境作为其生产基础,因此市场对干泵的需求也越来越迫切.该课题所研究的多级干式罗茨真空泵就是干泵的一种,这种多级罗茨真空泵在较宽的压力范围内有较大的抽速,可以不接前级泵而直接排大气,在工作过程中,抽气腔内无任何工作液,保证了被抽空间不受污染,主要应用于半导体、石化、冶金、食品、医药等行业.该课题主要讨论研究了多级三叶干式罗茨真空泵的若干技术问题.该文从多级三叶干式罗茨真空泵的转子及转子轴、气流通道布置、冷却方式以及密封结构几方面入手,对其结构进行了研究和分析,得出了比较可行的方案,并对该泵的几何抽速、极限真空等技术参数进行了理论计算,为该泵的产品化奠定了基础.该文对几种主要罗茨泵转子型线,就其容积利用系数、气冷性能(即有效气冷相位角)等方面进行比较分析,最终提出一种比较适合于多级干式罗茨真空泵的理论型线.该文对多级三叶罗茨真空泵运转过程中,转子的工作受载情况进行了适当简化,并以抽速150(l/s)的五级三叶干式罗茨真空泵为例,利用ANSYS6.1有限元分析软件对不同材料制成的转子,在不同温度下其表面发生的位移进行了拟实分析,综合考虑了弹性形变和热膨胀对转子表面位移量带来的影响,并在此基础上给出了不同材料的,如HT350、Y108,各级转子间隙的大致范围.该文还利用ANSYS6.1有限元分析软件以5GRP—150五级三叶干式罗茨真空泵为例,对工作过程中,HT350、Y108两种材料制成的转子的强度进行了校核.相信该课题的研究一定会对多级干式罗茨真空泵的产品化进程起到有益的推动作用.