【摘 要】
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类金刚石碳基(diamond-like carbon films,简称DLC)薄膜是一类同时含有金刚石结构(sp~3杂化键)和石墨结构(sp~2杂化键)的非晶亚稳态物质。类金刚石薄膜具有高弹性模量、高硬度、良好的热导性、卓越的摩擦学特性及较高的化学惰性等性质,在机械、电子、光学、航空航天等领域具有广阔的应用前景。相较于金刚石薄膜,制备DLC薄膜时所需的设备更简单、操作条件更温和。因此,开展关于DL
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类金刚石碳基(diamond-like carbon films,简称DLC)薄膜是一类同时含有金刚石结构(sp~3杂化键)和石墨结构(sp~2杂化键)的非晶亚稳态物质。类金刚石薄膜具有高弹性模量、高硬度、良好的热导性、卓越的摩擦学特性及较高的化学惰性等性质,在机械、电子、光学、航空航天等领域具有广阔的应用前景。相较于金刚石薄膜,制备DLC薄膜时所需的设备更简单、操作条件更温和。因此,开展关于DLC薄膜的基础研究工作有着十分重要的意义。本文采用液相电化学法制备了DLC薄膜,研究了电极距离、电解液浓度
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