当前社会已进入信息社会。红外领域的信息获取—红外探测技术大量应用于预警、制导、夜视、跟踪及空间技术、天文、医学等领域，需求规模在不断扩大。正是在这种需求规模的不断驱动下，红外探测器的开发研制和工业生产都有了突飞猛进的发展。 红外探测器分为光子探测器和热探测器两种，光子探测器的主要优点是探测灵敏度高，响应速度快，具有较高的响应率，但光子探测器一般需要在低温下工作，探测波段较窄；热探测器的主要优点是响应波段宽，可以在室温工作，使用简单，但热探测器由于宏观样品的加热与冷却是一个缓慢的过程，因此响应时间较长，探测灵敏度低，一般应用于低频调制的场合。 鉴于以上两种探测器的局限性，沈光地教授提出了一种实现既可在室温工作，又具有较快响应速度的选择性红外探测器的新物理构想。本文的工作正是基于该物理思想展开的。 1 详细论述了红外探测器和MEMS技术的现状与发展趋势，尤其对本文用以实现红外探测器的技术-MEMS技术的广阔的应用前景进行了仔细的讨论，详细介绍了MEMS的主要加工技术尤其是硅基MEMS的主要加工技术。 2 在讨论两种红外探测器的优缺点的基础上，论证了新型红外探测器的优越性与可行性。 3 详细研究了实现红外探测器的关键技术，包括体微机械加工技术和键合技术，主要有：N型和P型重掺杂腐蚀停技术的研究；Si₃N₄掩蔽膜的研究；溶硅技术的研究；不同表面处理方法对硅做为红外窗口特性的影响研究；硅的磨削和抛光方法：玻璃材料的选取研究；玻璃薄膜的制备方法研究；块玻璃与硅的键合及其电流时间特性研究等； 4 在上述关键技术研究的基础上，提出了几种红外探测器的实现方法，并给出了相应的工艺流程，测出了初步的响应。 5 对探测元件-电容随极板厚度、极板面积、极板间距、压强的变化趋势进行了计算，给出了变化曲线，得出了相应的结论。