本论文结合浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室创新基金项目——“宽频带高精度角振动校准装置的研究”,对微幅角振动激光干涉法测量的若干技术问题进行了研究。第一章阐述了本文的研究背景和意义。首先介绍了激光干涉法测量技术;其次介绍了国内外角振动激光干涉法测量技术的研究现状;最后提出了本文的研究目的及内容。第二章研究了微幅角振动激光干涉法测量的误差及其补偿技术。首先研究了微幅角振动激光干涉法测量的原理;其次重点研究了测量时角锥棱镜所带来的光程误差,并提出了误差补偿方法;然后分别研究了微幅角振动测量系统的横向误差、余弦误差和环境误差等误差因素,根据误差的允许范围得到角位移的最大允许值。第三章研究了基于单路激光干涉信号的振动波形解调方法。首先研究了双路正交激光干涉信号的正交理论,并据此提出了单路激光干涉信号的移相要求;然后研究了单频正弦信号的移相算法;接着,提出了单路激光干涉信号的交替移相算法,包括自适应修正算法,从而得到另一路正交的激光干涉信号;最后,由双路正交激光干涉信号解调得到振动波形。第四章研究了基于相关滤波的正弦参数辨识方法。首先,根据激光干涉信号的解算流程研究了相关滤波法进行正弦参数辨识的原理;其次,研究了相关滤波的实现方法,同时研究了采样率和失真对相关滤波的影响;最后,设计了基于相关滤波的激光干涉信号解算程序。第五章对微幅角振动激光干涉法测量的若干技术问题进行了实验研究。分别采用基于最小二乘法的双路正交激光干涉信号和基于移相算法与相关滤波法的单路激光干涉信号对角加速度传感器的幅相特性进行了测试及比对。比对结果表明,采用单路激光干涉信号可以通过软件解调得到振动波形,两种方法测量得到的角加速度传感器的幅相特性基本一致。此外还对测试数据进行了光程误差的补偿。第六章对全文的研究内容进行总结,并对后续的研究工作进行了展望。