随着国内液晶显示器件行业的蓬勃发展,该类厂房中精密设备对周边使用环境要求越来越高。厂房内部温度、湿度、洁净度及微振动的细微改变,都会直接影响液晶面板生产的良品率,从而影响厂房生产效率。针对电子厂房中精密设备的微振动控制十分复杂,而对于一类自身即包含发振部件又包含精密部件的精密设备的微振动控制就更为复杂。本文研究的涂布设备即是此类设备,由于该设备自身工艺条件的限制,其内部发振部件与精密部件需安放在同一基础上,并且该基础需具备一定的刚度,尤其是应满足一定的动刚度要求。因此,需要从提升精密设备基础结构动刚度的角度来研究该类设备微振动控制技术,从而提出合理的结构设计方案。本文首先在微振动量级的要求下,通过对已建厂房内涂布设备所在基础楼板位置处的振动速度响应进行实测,对设备所在楼板结构的实际振动速度响应与容许振动标准的频域关系进行研究,比较分析后找出已建厂房内涂布设备运行状态下设备基础振动速度响应超标的频率范围。其次通过对已建厂房内涂布设备所在基础楼板的动刚度进行实测分析,获得楼板不同位置处结构动刚度数值的大小,从而找到楼板动刚度最小值位置,以该位置为基准进行后续楼板结构的优化设计。再次通过公式推导及求解,计算涂布设备运行状态下设备基础振动速度响应满足VC-C条件下楼板的需求动刚度。最后通过建立楼板结构动力有限元模型,研究模型参数取值,探究对于模型动刚度计算值差异的改进。改变楼板厚度、开孔率及开孔布局,对于楼板动刚度特性变化规律影响进行研究,从而获得了满足涂布设备需求动刚度条件下楼板结构设计尺寸,并进行工程验证。本文的研究依托一已建电子厂房工程作为背景,通过对厂房内涂布设备运行后,设备基础振动速度响应、楼板动刚度进行实测,再对比设备容许振动标准,提出需满足该标准下设备放置楼板位置处的需求动刚度,据此对涂布设备微振动控制基础的楼板结构进行优化设计。