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随着现代科技的飞速发展,计算机技术以及微电子技术越来越向微型化发展。高精度、高稳定性、耐恶劣环境的金属薄膜电阻器是电子整机中的重要元器件。研制具有稳定的电性能,宽阻值范围、较小的电阻温度系数、能适应苛刻环境的金属薄膜电阻有着广泛的应用前景和重要意义。钽薄膜具有正温度系数,而钽氧化物薄膜的温度系数则为负值。如能充分利用金属钽、钽氧化物相反的温度特性来进行相互补偿,有望制备出宽电阻率范围、低温度系数的精密电阻薄膜。开展对电阻薄膜材料特别是钽系电阻薄膜的成膜工艺、微观结构、电学性能以及它们之间相互关系的研