螺旋波等离子体源即通过螺旋波激励放电的等离子体，为目前等离子体密度最高的低温等离子体源之一,可达1014cm-3。是Boswell在1970年第一个利用螺旋波产生了等离子体。在该等离子体源中螺旋波由射频天线激励并沿轴向磁场方向在有限直径的圆柱形等离子体柱中传播，具有哨声波和横波模式结构。人们普遍认为其能量是通过碰撞或无碰撞阻尼被电子吸收。螺旋波等离子体源以其电离效率高、电子密度高、约束磁场低、结构相对简单、可在低气压下放电等优点，使其在集成电路工艺、薄膜沉积、刻蚀与表面改性和等离子体推进等领域有着良好而广泛的应用前景。但人们对于其中的高频功率耦合到等离子体中的物理机制、功率吸收机理，以及其他一些物理现象还不是很清楚，对于螺旋波等离子体高电离的物理机制尚没有统一认识，因此仍然需要深入探索。本论文工作包括稳态螺旋波等离子体产生及其诊断。利用朗缪尔静电探针、OES和ICCD等对螺旋波等离子体进行诊断，研究螺旋波等离子体不同放电模式的放电特性及他们之间的转换，分析螺旋波等离子体源的物理机制和其中物理现象出现的内在原因，并详细研究了不同的放电参数对放电特性的影响。