半导体制造系统中准确快速换模与维护的策略研究

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在精益生产理论和精益思想应用日益广泛的今天,企业的经营、生产、管理模式部在发生着革命性的变化。尤其是在半导体制造企业中,日益复杂的生产流程和产品种类,对生产设备的柔性和稳定性提出了更高的要求。如何实现快速换模(sMED)技术、如何准确快速的对设备进行呆养维护,进而降低因设备造成的浪费,提高设备的总效率(时间效率、性能效率、产品合格率),为企业创造更大的价值,是多数企业面临的重大课题。本文简述了精益生产理论、精益思想的产生及国内外研宄、应用情况,介绍了设备维护管理发展的历史和现状,并结合在某半导体制造企业A公司六个月的实地考察学习,系统地总结了在半导体制造企业中,准确快速换模和维护的实施方法。在该公司推进准确快速换模和维护项目时,采用了六西格玛DMAL方法规范了整个改善过程,并通过“持续改善”稳定成效。结果表明,通过对换模和维护过程的研宄和流程优化,可以显著缩短换模和维护时间,提高换模和维护的质量,并减少在制造_品库存。最后,本文讨论了准确快速的换模和维护的实施条件、局限性,并展望了进一步的研宄方向,以期对相关行业的设备创新性管理提供有益的参考。
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