TFT-LCD玻璃基板面部缺陷及其检测方案改进研究

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玻璃基板是TFT-LCD面板的重要组成部分,在TFT-LCD面板中分别作为彩色滤光片基板和TFT阵列基板使用。玻璃基板是由SiO2、Al2O3、B2O3及Ba2O等原料经熔解变为玻璃膏后,再由溢流熔融法成型,经过一系列后加工后,最终成为玻璃基板成品。玻璃基板制造流程比较复杂,而且目前在国内起步较晚,因此在国内有着很大的发展前景,对玻璃基板的研究显得非常重要。  随着目前平板显示电器的需求量不断增大,平板市场呈现繁荣景象,因此对上游玻璃基板的需求量也非常巨大,但是面板产品由于其特殊的显示特性,对玻璃基板的质量有着很高的要求,玻璃基板存在缺陷会导致面板显示不良,从而降低了企业的效益以及浪费了大量的资源。因此有必要对玻璃基板缺陷做深入的研究和分析,虽然国内外对玻璃基板缺陷形成的机理及其检测方法都进行了研究,但可检索的文献报道并不多,且现有的缺陷检测设备的检出效率仍有许多需要改进之处。本论文主要从两方面对玻璃基板缺陷进行研究,一方面是研究如何降低玻璃基板面部缺陷的数量,另一方面是改进见检查机对缺陷的检出效率,主要内容如下:  第一章主要介绍研究玻璃基板的背景和研究意义。第二章简单介绍上游TFT-LCD面板以及玻璃基板的基础知识,侧面说明基板在面板中的位置及作用,以及简要介绍玻璃基板的品质要求、常见缺陷以及成型方法。第三章重点阐述玻璃基板的制造流程,包括配料溶解、铂金通道、溢流成型、切割、研磨、清洗、检验、包装等阶段。第四章分析玻璃基板面部缺陷的原理以及提出相对应的解决对策。  第五章主要通过分析面检检查机的原理,提出一些改进方案来提升检查机的检出效率。提出可以通过减小无校区面积增大检测面积,从而检测出更多缺陷;研究不同的检测阈值、不同光源照度对检查机检出效率的影响,结果显示当检测阈值为7,背照光源照度为10000lx时,检查机的检出效率最好。且经反馈,检查效果很好,能够满足企业最优化要求。
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