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在该论文研究中,采用溶胶凝胶方法成功的制备了具有良好光学质量的TiO<,2>薄膜,研究了薄膜的光学性质如：吸收光谱、透过率和折射率,随热处理温度的变化.首次采用溶胶-凝胶方法制备了体积百分比达到9﹪的Au纳米颗粒复合的TiO<,2>薄膜.采用乙二醇甲醚作为溶剂,避免了Au<'3+>在室温下被还原,提高了溶胶中Au<'3+>的含量.采用硫脲作为鳌合剂,提高了溶胶的稳定性,抑制了薄膜中Au颗粒的团聚和向表面的迁移,有效地控制了Au颗粒的尺寸和尺寸分布.在Au纳米颗粒复合的TiO<,2>薄膜中观察到由Au颗粒表面等离子体共振（SPR）引起的吸收峰,及其随热处理温度的升高而红移的现象.由于提高了体积百分比,Au纳米颗粒复合的TiO<,2>薄膜薄膜具有较高的三阶非线性极化率.在不同工艺制备的薄膜中还观察到了不同机理对三阶非线性极化率的贡献.制备了CdS纳米颗粒复合的TiO<,2>薄膜,观察到由量子尺寸效应引起的吸收光谱蓝移的现象,薄膜中CdS的带隙随纳米颗粒尺寸的变化符合有效质量近似模型的结果.