在本文中主要讨论了用等离子体法来处理挥发性有机物（VOCs）的应用研究。根据等离子体的基本理论，得出了等离子体处理VOCs的机制：在放电反应产生的活性粒子（如高能电子、臭氧、自由基等）的作用下，发生一系列的物理化学反应，使有害的VOCs转化成无害的物质。其可能的途径是：首先，高能电子经过与目标分子发生非弹性碰撞，将能量全部或部分传递给分子，使其裂解，激化等；接着，上述被高能电子裂解、激化的分子在臭氧和氧等离子体的作用下，被氧化成CO₂、CO和H₂O。 在机理性实验中，通过测定臭氧的浓度来反应等离子体处理VOCs的机理。结果表明，臭氧浓度随着电场强度的增高而增大，随着气体流速的增大而减小，在较高的电场强度下，有BaTiO3填料的反应器产生的臭氧比无填料的反应器产生的臭氧高得多，当电场强度为10.909kv/cm时，臭氧浓度最高可达4.375mg/L。 在VOCs的去除实验中，我们选择了苯系物（苯、甲苯和间二甲苯）作为处理对象，结果表明，苯系物的去除率随着电场强度的增强而增大，随着气体流速的增大而减小，随着进口浓度的增大而减小。在较高电场强度下，有填料时的去除率比无填料时的去除率高得多。苯的最高去除率可达到92.6％，甲苯可达到96.8％，间二甲苯可达100％。另外，在完全相同的条件下，三种物质去除率高低对比为：间二甲苯＞甲苯＞苯。苯系物被处理后的最终产物为CO₂、CO和H₂O。