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薄膜科学与技术涉及的范围极广,它包括以物理气相沉积和化学气相沉积为代表的成膜技术,以离子束刻蚀为代表的微细加工技术,成膜、刻蚀过程的监控技术,薄膜分析、评价与检测技术,薄膜材料的开发、应用等。半导体/金属薄膜是膜材料中传统而有生命力的材料,在电子及微电子工业、能源、信息科学等领域中的应用越来越广泛。本论文首先介绍了磁控溅射技术基本原理及特点,并且介绍了应用此技术镀膜时所应用的设备和流程,还给出了椭圆偏振仪的原理和应用椭圆偏振仪对纳米薄膜的厚度和折射率的测量结果。然后我们应用采