太赫兹(Terahertz，简称THz)电磁波在化学和生物制剂的检测、环境检测、物体成像、军事安全、移动通信等领域具有广阔的应用前景。目前，由于缺乏损耗低、色散小的波导使其应用受到很大限制,研究和开发低损耗太赫兹波导对于推动太赫兹技术的实际应用具有重要的意义。本文研究低损耗太赫兹金属空芯波导。本文分析了太赫兹波在平板金属波导和空芯波导内的传输特性，并进一步对这些波导的结构进行镀膜改进，以减小太赫兹波的传输损耗。本文也利用连续的太赫兹波系统测量金属镀膜的空芯圆波导的损耗。由于太赫兹波在金属空芯波导中传播损耗主要来源于波在金属界面反射时引入的损耗，本文首先研究减小太赫兹在金属界面反射损耗的方法。通过在金属界面镀介质膜，可以比较有效的减小TM波的损耗。数值分析了金属界面镀介质膜前后太赫兹波的反射率，讨论介质膜为不同材料时的反射率，发现镀0.06mm的聚乙烯膜时反射率最大。镀介质膜的金属平板波导中，导波层的厚度大于0.8mm，相比较纯金属波导，损耗减小。其次，利用初等电子理论计算和分析金属的介电常数。通过计算金属镀膜太赫兹空芯波导的截止频率，分析波导的传输模式，TE11模是波导的主模。分析金属镀膜为不同材料时空芯波导的衰减系数，选择损耗较小的金属材料。计算分析不同模式时，金属镀膜空芯波导的损耗，其中TE01损耗最小。相比较石英圆波导，减小了1.44dB/cm。最后，利用银镜反应制备镀银的空芯太赫兹波导，并利用以返波管振荡器(BWO)为发射源的太赫兹波系统，测量镀膜的空芯波导的损耗。采用截断法和比较的方法进行测量，测得的损耗为0.989dB/cm。本文从理论上分析金属平板波导和金属镀膜空芯波导的传输特性，并利用连续的太赫兹波测量金属镀膜空芯波导的传输损耗。目的是找出损耗低、制备容易、结构简单、成本低的太赫兹波导结构，促进太赫兹的应用。