ZnO薄膜的磁控溅射制备及其激光特性研究

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  ZnO薄膜随机激光的产生被认为来源于高度无序的增益介质中激子与激子之间的碰撞散射而预先设置的反射镜或晶体中自形成的谐振腔则导致其共振腔激光发射行为。然而对于共振腔激光行为中自成腔是如何形成的说法不一,并没有达成一致的结论。 本文用射频磁控溅方法在SiO2衬底上制备能产生受激发射和激光发射行为的高质量ZnO薄膜,并在此基础上研究了ZnO自成腔激光发射行为中如何形成自成腔。文章通过对ZnO薄膜样品进行变密度激发,研究了所制备ZnO薄膜的受激发射和激光发射行为。分析认为ZnO自成腔激光发射行为中自成腔的形成与ZnO粒子六角形结构有着重要关系,不同六角形ZnO粒子的侧面作为反射腔镜,形成共振并产生激光发射。    
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