【摘 要】
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可变光衰减器在光通信系统中有着重要的作用,而MEMS(Microelectromechanical system)可变光衰减器符合先进光通信器件的发展趋势:体积小、重量轻、功耗小、可单片集成为阵列
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可变光衰减器在光通信系统中有着重要的作用,而MEMS(Microelectromechanical system)可变光衰减器符合先进光通信器件的发展趋势:体积小、重量轻、功耗小、可单片集成为阵列等,具有很大的市场潜力.因此,该文开展了如下研究:第一,提出了一种新类型的可变光衰减器——光纤偏移型MEMS可变光衰减器,在文献中未见报道.理论上这个新的类型可以通过设计不同的驱动方式和结构形式得到多个具体的MEMS可变光衰减器.第二,新开发了使用SU-85的正胶、负胶复合微加工工艺,在(100)硅片上加工了新型可变光衰减器的铁芯MEMS螺线管型电磁微执行器阵列.第三,测试了微加工的MEMS三维螺线管器件在1-40MHz频率范围的电感、电阻和Q因子;测试了新型可变光衰减器的电磁微执行器的驱动性能,实验结果验证了微执行器中连续电磁驱动的数学模型.第四,作为理论指导,用解析法求出了微执行器中连续电磁驱动的数学模型,分析了衔铁位移与驱动电流的关系曲线及其各部分的物理意义.用该模型对多个文献中报道的不同实验结果给出了统一、合理的解释,对连续电磁驱动的实际应用具有理论指导意义.
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