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金刚石具有高红外透过率、低吸收系数、抗热冲击性好、耐磨擦等一系列优异的性能，是用于长波红外波段(8～12μm)理想的窗口和头罩材料。然而金刚石在750℃以上时很容易发生氧化，导致透过率急剧下降。在金刚石表面镀制抗氧化增透涂层可以满足其在高速、高温条件下应用。氧化铪(HfO_2)具有优良的物理、化学性能，抗高温氧化能力强，可用作金刚石抗氧化保护涂层。在国外，HfO_2用作金刚石抗氧化涂层的研究已经展开，并取得进展；在国内，有关HfO_2抗氧化保护涂层的研究还未见报道。本文主要研究射频磁控溅射法制备Hf