【摘 要】
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随着人们对微观领域研究的深入,面向微/纳米级对象的应用迅猛发展.在微型MEMS零件装配、光纤对接及生物细胞操作等各个领域迫切需要能够完成微细作业的微操作机器人系统.微夹
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随着人们对微观领域研究的深入,面向微/纳米级对象的应用迅猛发展.在微型MEMS零件装配、光纤对接及生物细胞操作等各个领域迫切需要能够完成微细作业的微操作机器人系统.微夹持器是微操作机器人的关键组成部分,能以较高的精度完成对微小物体的夹取,其性能将直接影响微操作机器人的操作能力.在微操作过程中,经常要求微夹持器既能满足对不同尺寸零件的夹持操作,又需具有较高的张合分辨率,且夹持可控.为了满足上述要求,提高微夹持器的通用性,基于宏微结合的设计思想,作者研制出以微直线电机实现宏动调整、双晶片压电悬臂梁实现微动夹持的组合式微夹持器.它具有体积小、结构紧凑、响应快等优点,适合于显微镜下操作.
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