0.18微米高压器件生产周期改善与工艺优化研究

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半导体晶圆生产线是世界上公认的最为复杂的生产线之一,产品更新换代快,市场竞争激烈,设备繁多且昂贵。只有使产品做到又好又快的交付,才能赢得客户。当今如何提升自身生产能力以满足客户日益苛刻的需求,将是晶圆芯片代工厂必须解决的问题。本文以基于客户需求的生产周期研究为核心,将代工厂各种生产指标管理结合在一起,摸索出一个整体解决方案,系统地提升了日常生产效率并改善了生产周期。同时本文结合0.18微米高压器件产品工艺流程的优化,将生产和工艺有效的结合起来,为业界提供一套完整的高水平生产周期管理参考方案。
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