【摘 要】
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平行平板的测量在光学检测和光学加工中有很重要的应用,但是在平行平板的测量中,由于三表面干涉的干涉条纹重叠,运用传统的移相干涉术测量存在很大误差。因而本课题的研究对
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平行平板的测量在光学检测和光学加工中有很重要的应用,但是在平行平板的测量中,由于三表面干涉的干涉条纹重叠,运用传统的移相干涉术测量存在很大误差。因而本课题的研究对于平行平板的面形及平行度测量有重要意义。文章研究了波长移相干涉测量的原理,从时域和空域两方面研究了傅立叶变换求解平行平板面形、平行度等参数的方法。搭建了波长调谐干涉仪测量平行平板的实验系统,采集了波长移相多幅干涉图。编写程序对干涉图进行时域和空域傅立叶变换得到干涉相位,通过计算后得到平行平板的参数。两种方法的测试结果与常用的抑制平行平板后表面反射测试方法进行比较,结果显示两种算法均可用于测量平行平板。
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