近年来，随着国防科技现代化的迫切要求，对于诸如飞机、舰船等各种设施的隐身防护，已成为一项重要内容。在2-18G的雷达波段，磁吸收的常规吸收剂（主要是六角铁氧体），由于其磁导率偏低，特别是低频段，吸收效果不好。实验中我们采用FeCoB系列，溅射非晶薄膜，解决了涡流损耗问题，并使磁导率在2G频率上，磁导率达到了200。但是由于其电阻率在约为100μ Ω·cm，这对于吸波材料而言，存在匹配问题。 本文通过射频溅射法，制备了Fe-SiO<,2>颗粒膜。随着SiO2含量的增加，其电阻率逐渐上升，当电阻率达到3*10<-3>Ω·cm后，电阻率剧升，材料开始由导体向绝缘体转变。存在渗流阈值，在此值两侧，膜的物理特性有显著差异。在阈值点附近，存在一个小的区域，在这个区域内，得到了单轴各向异性较好的软磁材料。其饱和磁化强度约为8000Gs，矫顽力20 Oe，各向异性等效场约为30 Oe，电阻率1000μ Ω·cm以上。利用X射线和扫描电子显微镜分析了材料的微结构，结果表明得到的薄膜为连续的非晶膜，并且有α-Fe的纳米晶析出。从近来软磁材料的进展来看，适当的析出纳米晶，有助于提高软磁性能。从电磁参量来看，2GHz点频下测量，介电常数在3000左右，对于没有单轴各向异性的薄膜，其磁导率在20-80之间。当样品电阻率在Ω·cm数量级上，介电常数本身的数值已经落在我们测量误差（150）之内，我们的测量仪器无法进行表征。此时的饱和磁化强度只有4000Gs左右。