BST热释电薄膜非制冷红外单元探测器的结构设计与性能研究

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本论文研究了BST热释电薄膜单元探测器的结构以及性能。内容包括单元探测器件的结构设计,器件性能测试系统的搭建,研究和分析讨论了探测器的几个重要性能参数。在热释电探测器工作原理理论分析的基础上,比较了混合式结构和单片式探测器结构的优劣,并讨论了单片式结构中几种常见的热绝缘结构,基于以上分析设计了一种由多孔SiO2薄膜和过渡SiO2薄膜组成的“复合薄膜”热绝缘结构,并给出了该器件结构参数。“复合薄膜”热绝缘结构设计的BST热释电薄膜单元探测器与半导体工艺兼容性好,抗冲击能力强,拓宽了单元器件的应用范围。根据设计的BST热释电薄膜单元探测器的结构尺寸制备出了样品,为研究其性能,设计并搭建了一套器件性能参数测试系统;并对该测试系统进行了标定,验证了搭建的测试系统的准确性与可靠性。基于搭建的测试系统,研究了辐射温度、斩波频率、测试距离对探测器的噪声响应信号、电压响应率以及探测率D*的影响;在黑体温度为1027K,测试距离为11.5cm,斩波器频率为110Hz的条件下,探测器的电压响应率(Rv)为2.8×105V/W,噪声(SN)为0.2mV/Hz1/2,探测率(D*)为6.9×107cmHz1/2/W。
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