基于SU-8紫外光刻工艺的直流微电铸技术研究

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进入21世纪以来,微细加工技术作为MEMS(微机电系统)产业化的重要基础,发展非常迅速。LIGA(即光刻、电铸和注塑)与UV-LIGA技术是两种非常重要的微细加工技术。在微纳加工领域经常会需要一些具有高深宽比的微结构,而LIGA和UV-LIGA技术的工艺特点就是制备具有高深宽比的微结构。LIGA与UV-LIGA技术的工艺过程主要区别在于,LIGA技术的曝光光源为同步X射线源,UV-LIGA技术只需紫外光源即可。由于同步X射线源非常昂贵,相比LIGA技术,UV-LIGA技术成本很低,更加适合推广应用。
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