本论文主要的工作包括制备纳米TiO₂薄膜Ti_xZr_1-xO₂固溶体薄膜,制作TiO₂紫外探测器和紫外线强度测试仪。首先用溶胶凝胶法和自组装法制备纳米TiO₂薄膜,为了达到调整薄膜吸收边的目的,又利用溶胶凝胶法制备了Ti_xZr_1-xO₂固溶体薄膜。利用XRD,AFM,SEM,紫外吸收谱等手段对三种薄膜进行了表征,证明了用溶胶凝胶法和自组装法制备出了锐钛矿型的TiO₂薄膜,Ti_xZr_1-xO₂固溶体薄膜的吸收边随组分x变化而变化,实现了吸收边可调的目的。我们以上述三种TiO₂薄膜为基底材料,以Au为金属电极,分别制作了MSM型紫外探测器。三种器件的暗电流非常小,约为nA量级,在紫外光照射下有强烈的光响应,响应度的峰值出现在260nm附近,响应时间可以达到毫秒量级。同时,对于以Ti_xZr_1-xO₂固溶体薄膜为基底材料的器件来说,其吸收边与另外两种器件相比,发生了偏移,与紫外吸收谱一致。然后我们制作了Au-TiO₂-Au和Ni-TiO₂-Ni两种器件,讨论了两种金属与TiO₂薄膜接触形成的肖特基势垒的高度对器件性能的影响。经过讨论发现,由于Φ_bi^Ni<Φ_bi^Au,所以Ni/TiO₂/Ni器件的光电特性会更好。因此,用Ni作为电极,会得到光电特性更好的器件。利用测量经过TiO₂转化的电信号反过来探测由TiO₂接收到的紫外光信号的强度的原理,我们制作了紫外线强度测试仪。经测试后发现,当入射光强增大时,负载电阻两端的电压也随之增大,同时,两者是一种非线性的关系;我们制作的强度测试仪在很高和很低的光功率下,都能很好的工作,说明测试仪的适应范围很广。