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本文根据中国航天科工集团三院8358研究所提出的摄像镜面安装深度检测问题,详细设计了非接触式高度差测试仪。从测量原理的提出,技术路线的实施,可行性分析,对仪器的机械设计,控制系统设计及软件设计都作了较为详细的探讨。以圆孔中镜面安装深度测量的实际问题出发,提出了一种全新的圆孔深度测量方法,该方法可进一步扩展为平面间高度差的测量。方法以电容测微仪为核心,利用多传感器组合测量,对数据进行融合后得到测量结果。利用电容传感器的高精度非接触测量的优点,实现了对工件的非接触精密测量,有效避免了