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微加速度计的应用已经渗透到日常生活中的方方面面,大到航天、汽车、工业设备,小到手机、游戏机中都能看到它的身影。叉指式微加速度计具有体积小、成本低、线性度好等优点,是新兴传感器中的代表。随着MEMS技术的不断发展微加速度计的性能也在不断提高但仍存在许多不足之处,为了满足航天航空等高端领域的应用要求,需要不断的提高传感器的精度和稳定性。如何提高加速度计的分辨率、灵敏度以及抑制零偏和漂移成为了微加速度计研究中的重点。在理想情况下叉指式微加速度计被等效为一对初值相等的差分电容,它们的电容差与输入的加速度线性