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该文通过溶胶--凝胶法成功地制备了一种新型可溶性感光聚酰亚胺/二氧化硅纳米复合材料(PI/SiO<,2>),并且对这种材料的光刻条件、结构和性能进行了系统的研究.
可溶性感光聚酰亚胺/二氧化硅纳米复合材料的制备和性能研究
【摘 要】
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该文通过溶胶--凝胶法成功地制备了一种新型可溶性感光聚酰亚胺/二氧化硅纳米复合材料(PI/SiO),并且对这种材料的光刻条件、结构和性能进行了系统的研究.
【机 构】
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上海交通大学
【出 处】
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上海交通大学
【发表日期】
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1999年期
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