【摘 要】
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微夹持器是微装配与微操作中的执行部件,广泛应用于细胞操作、微镜头装配等场合,其性能的优劣直接影响到夹持动作的成败。论文综述了几种典型微夹持器的工作原理,并比较了各自特点。选择具有结构简单、夹持力大等优点的电热驱动微夹持器为研究对象。(1)微夹持器的电热驱动部分采用可以实现通电张开-通电闭合双向运动的平行梁结构。在考虑微加工工艺能力的基础上,设计了微夹持器的结构尺寸。对其进行了理论分析,建立了电-热
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微夹持器是微装配与微操作中的执行部件,广泛应用于细胞操作、微镜头装配等场合,其性能的优劣直接影响到夹持动作的成败。论文综述了几种典型微夹持器的工作原理,并比较了各自特点。选择具有结构简单、夹持力大等优点的电热驱动微夹持器为研究对象。(1)微夹持器的电热驱动部分采用可以实现通电张开-通电闭合双向运动的平行梁结构。在考虑微加工工艺能力的基础上,设计了微夹持器的结构尺寸。对其进行了理论分析,建立了电-热-机械多能量域的数学分析模型,用解析方法分析其温度分布和位移特性。
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